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新型晶圆晶舟
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121600509.1
申请日：
2021-07-15
公开(公告)号：
CN214898360U
公开(公告)日：
2021-11-26
发明(设计)人：
方廷宇
游礼仲
许忠信
张峰
李东冉
唐守庄
申请人：
申请人地址：
255000 山东省淄博市高新区中润大道186号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-26 | 授权 | 授权 |