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便于抽检晶圆的晶舟盒

被引：0
申请号：
CN202221481382.0
申请日：
2022-06-15
公开(公告)号：
CN218039125U
公开(公告)日：
2022-12-13
发明(设计)人：
段克波
申请人：
申请人地址：
361116 福建省厦门市同安区西柯镇西福路2号A栋3楼
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京察格专利代理事务所(普通合伙) 16129
代理人：
杨丰佳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-13 授权 授权
共 50 条
[1]
新型晶圆晶舟 [P]. 
方廷宇 ;
游礼仲 ;
许忠信 ;
张峰 ;
李东冉 ;
唐守庄 .
中国专利 :CN214898360U ,2021-11-26
[2]
晶圆抽检器 [P]. 
司林平 .
中国专利 :CN204375705U ,2015-06-03
[3]
晶舟盒 [P]. 
聂伟 ;
陈志远 .
中国专利 :CN216698313U ,2022-06-07
[4]
一种防晶圆斜插的晶舟盒 [P]. 
冀然 .
中国专利 :CN216849875U ,2022-06-28
[5]
晶圆测试机晶舟盒乘载平台 [P]. 
周崇铭 .
中国专利 :CN204204806U ,2015-03-11
[6]
晶圆承载装置及晶舟 [P]. 
赵露露 ;
张学良 ;
聂艳群 ;
吴静銮 ;
高海林 .
中国专利 :CN206116362U ,2017-04-19
[7]
晶舟及晶圆承载装置 [P]. 
刘光淼 ;
李旋 ;
刘风 .
中国专利 :CN206992067U ,2018-02-09
[8]
晶舟及晶圆存放机构 [P]. 
方三军 ;
朱瑜杰 ;
陈思安 ;
徐萍 .
中国专利 :CN203103272U ,2013-07-31
[9]
晶圆承载装置和晶舟 [P]. 
张学良 ;
高海林 .
中国专利 :CN204885123U ,2015-12-16
[10]
转运晶圆用的晶圆盒 [P]. 
陈正茂 ;
王健 ;
孙铎 ;
魏忠亮 ;
卢红平 ;
魏冬 .
中国专利 :CN214411146U ,2021-10-15
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