晶舟及晶圆承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720947526.X

申请日：

2017-07-31

公开(公告)号：

CN206992067U

公开(公告)日：

2018-02-09

发明(设计)人：

刘光淼李旋刘风

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21687 H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-09	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆承载装置及晶舟 [P].

赵露露 ;

张学良 ;

聂艳群 ;

吴静銮 ;

高海林 .

中国专利 :CN206116362U ,2017-04-19

[2]

晶圆承载装置和晶舟 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN204885123U ,2015-12-16

[3]

晶舟承载装置及晶圆加工系统 [P].

张通 ;

江军中 ;

施杰 .

中国专利 :CN217955834U ,2022-12-02

[4]

晶圆承载装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222927467U ,2025-05-30

[5]

晶圆承载装置及采用该晶圆承载装置的晶圆清洗装置 [P].

时旭 .

中国专利 :CN210272299U ,2020-04-07

[6]

晶圆载盘及晶圆承载装置 [P].

何正鸿 ;

李利 ;

李永帅 ;

张成 .

中国专利 :CN222927443U ,2025-05-30

[7]

晶圆承载装置及晶圆测试设备 [P].

胡楠 ;

叶波 ;

胡鹏飞 ;

邱国志 .

中国专利 :CN222355112U ,2025-01-14

[8]

一种晶圆承载盘及晶圆承载装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222462882U ,2025-02-11

[9]

晶圆承载装置 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104347465A ,2015-02-11

[10]

晶圆承载装置 [P].

廖容呈 ;

张耀中 .

中国专利 :CN201859863U ,2011-06-08

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