基板处理装置、基板处理方法以及基板处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311163485.1

申请日：

2023-09-11

公开(公告)号：

CN118136548A

公开(公告)日：

2024-06-04

发明(设计)人：

严基象朴岽云孙永俊李㥥滥崔晋镐

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京钲霖知识产权代理有限公司 11722

代理人：

李英艳;玉昌峰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230911
2024-06-04	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置、基板处理方法以及基板处理设备 [P].

金铉玟 .

韩国专利 :CN118136547A ,2024-06-04

[2]

基板处理装置、基板处理方法以及基板处理设备 [P].

金度亨 ;

金大勋 ;

金永珍 ;

姜兑昊 ;

韩泳遵 ;

崔恩赫 ;

李俊权 .

韩国专利 :CN117637521A ,2024-03-01

[3]

基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法 [P].

朴仁煌 ;

金成弼 ;

金局生 ;

金耿民 .

中国专利 :CN112735975A ,2021-04-30

[4]

基板处理装置以及基板处理设备 [P].

李相旼 ;

吴承勋 ;

任镕浚 ;

梁孝源 .

中国专利 :CN115148625A ,2022-10-04

[5]

基板处理装置以及基板处理设备 [P].

李相旼 ;

吴承勋 ;

任镕浚 ;

梁孝源 .

韩国专利 :CN115148625B ,2025-02-14

[6]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金度延 ;

吴世勋 ;

金源根 ;

李周美 ;

黄浩钟 ;

许弼覠 ;

尹铉 ;

李忠现 ;

朴炫九 .

韩国专利 :CN112201589B ,2024-04-05

[7]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金度延 ;

吴世勋 ;

金源根 ;

李周美 ;

黄浩钟 ;

许弼覠 ;

尹铉 ;

李忠现 ;

朴炫九 .

中国专利 :CN112201589A ,2021-01-08

[8]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

吉川润 ;

福留誉司 .

中国专利 :CN106252268B ,2016-12-21

[9]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

山口侑二 ;

折坂昌幸 ;

宫川纱希 .

日本专利 :CN115176335B ,2025-09-26

[10]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

稻富弘朗 ;

枇杷聪 ;

冈村聪 .

日本专利 :CN111211069B ,2025-02-18

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