一种晶圆表面缺陷的检测方法、装置及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311767325.8

申请日：

2023-12-20

公开(公告)号：

CN117747465A

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

高坤马强强仝临杰

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67 G01N21/95

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

沈寒酉;归莹

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	公开	公开
2024-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20231220

共 50 条

[1]

一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

李守龙 ;

刘建华 ;

路中升 ;

罗强 .

中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07

[2]

晶圆表面缺陷的检测方法及装置 [P].

顾颂 .

中国专利 :CN102054724A ,2011-05-11

[3]

一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、设备及存储介质 [P].

韩晓泉 ;

张莲莲 ;

赵文秀 ;

韩东升 .

中国专利 :CN119599960A ,2025-03-11

[4]

晶圆表面缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质 [P].

林可 ;

李康康 ;

高坤 .

中国专利 :CN119965106A ,2025-05-09

[5]

图案化晶圆表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

梅爽 ;

刁兆磊 ;

程江涛 ;

向娟 ;

文国军 .

中国专利 :CN118469970A ,2024-08-09

[6]

裸晶圆表面缺陷的检测方法、装置、终端设备及存储介质 [P].

罗炜桓 ;

罗建华 ;

龙志斌 .

中国专利 :CN118329777A ,2024-07-12

[7]

基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P].

张夏玮 ;

史曼云 ;

郭宜娜 ;

杨佳琦 ;

殷海洋 ;

蒋睿 ;

张贵阳 .

中国专利 :CN117710378A ,2024-03-15

[8]

基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P].

张夏玮 ;

史曼云 ;

郭宜娜 ;

杨佳琦 ;

殷海洋 ;

蒋睿 ;

张贵阳 .

中国专利 :CN117710378B ,2024-04-30

[9]

晶圆表面缺陷检测方法及装置 [P].

刘立拓 ;

宋晓娇 ;

王驾驭 ;

王娜 ;

王盛阳 .

中国专利 :CN116840260B ,2024-05-10

[10]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质 [P].

陈海龙 ;

陈加豪 ;

袁洪 .

中国专利 :CN119624961B ,2025-04-15

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