一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、设备及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411625823.3

申请日：

2024-11-14

公开(公告)号：

CN119599960A

公开(公告)日：

2025-03-11

发明(设计)人：

韩晓泉张莲莲赵文秀韩东升

申请人：

北京兆维智能装备有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维工业园B区B5栋

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06T7/66 G06T7/73 G06T5/20

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

孟鹏超

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-11	公开	公开
2025-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20241114

共 50 条

[1]

自动晶圆缺陷检测方法、系统、设备及存储介质 [P].

王佳 ;

李安东 .

中国专利 :CN115631178A ,2023-01-20

[2]

晶圆表面缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质 [P].

林可 ;

李康康 ;

高坤 .

中国专利 :CN119965106A ,2025-05-09

[3]

图案化晶圆表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

梅爽 ;

刁兆磊 ;

程江涛 ;

向娟 ;

文国军 .

中国专利 :CN118469970A ,2024-08-09

[4]

一种晶圆表面缺陷的检测方法、装置及存储介质 [P].

高坤 ;

马强强 ;

仝临杰 .

中国专利 :CN117747465A ,2024-03-22

[5]

晶圆缺陷检测方法、系统及存储介质 [P].

李成成 ;

王刚 .

中国专利 :CN117372342A ,2024-01-09

[6]

一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

李守龙 ;

刘建华 ;

路中升 ;

罗强 .

中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07

[7]

基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P].

张夏玮 ;

史曼云 ;

郭宜娜 ;

杨佳琦 ;

殷海洋 ;

蒋睿 ;

张贵阳 .

中国专利 :CN117710378A ,2024-03-15

[8]

基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P].

张夏玮 ;

史曼云 ;

郭宜娜 ;

杨佳琦 ;

殷海洋 ;

蒋睿 ;

张贵阳 .

中国专利 :CN117710378B ,2024-04-30

[9]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质 [P].

陈海龙 ;

陈加豪 ;

袁洪 .

中国专利 :CN119624961B ,2025-04-15

[10]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质 [P].

陈海龙 ;

陈加豪 ;

袁洪 .

中国专利 :CN119624961A ,2025-03-14

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