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一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510156576.5
申请日：
2025-02-13
公开(公告)号：
CN119624961B
公开(公告)日：
2025-04-15
发明(设计)人：
陈海龙 陈加豪 袁洪
申请人：
杭州光研科技有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设二路858号集成电路设计产业园B幢103室
IPC主分类号：
G06T7/00
IPC分类号：
G06V10/764 G06T7/136
代理机构：
深圳鼎丞佰瑞知识产权代理有限公司 441149
代理人：
王剑伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-14 公开 公开
2025-04-01 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250213
2025-04-15 授权 授权
共 50 条
[1]
一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质 [P]. 
陈海龙 ;
陈加豪 ;
袁洪 .
中国专利 :CN119624961A ,2025-03-14
[2]
一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法 [P]. 
于乃功 ;
李洪政 ;
徐乔 .
中国专利 :CN114910480A ,2022-08-16
[3]
一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法 [P]. 
于乃功 ;
李洪政 ;
徐乔 .
中国专利 :CN114910480B ,2024-07-02
[4]
一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、设备及存储介质 [P]. 
韩晓泉 ;
张莲莲 ;
赵文秀 ;
韩东升 .
中国专利 :CN119599960A ,2025-03-11
[5]
一种晶圆表面缺陷的检测方法、装置及存储介质 [P]. 
高坤 ;
马强强 ;
仝临杰 .
中国专利 :CN117747465A ,2024-03-22
[6]
基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P]. 
张夏玮 ;
史曼云 ;
郭宜娜 ;
杨佳琦 ;
殷海洋 ;
蒋睿 ;
张贵阳 .
中国专利 :CN117710378A ,2024-03-15
[7]
基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P]. 
张夏玮 ;
史曼云 ;
郭宜娜 ;
杨佳琦 ;
殷海洋 ;
蒋睿 ;
张贵阳 .
中国专利 :CN117710378B ,2024-04-30
[8]
晶圆表面缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质 [P]. 
林可 ;
李康康 ;
高坤 .
中国专利 :CN119965106A ,2025-05-09
[9]
图案化晶圆表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P]. 
梅爽 ;
刁兆磊 ;
程江涛 ;
向娟 ;
文国军 .
中国专利 :CN118469970A ,2024-08-09
[10]
晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN117808809A ,2024-04-02
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