一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210503637.7

申请日：

2022-05-09

公开(公告)号：

CN114910480B

公开(公告)日：

2024-07-02

发明(设计)人：

于乃功李洪政徐乔

申请人：

北京工业大学

申请人地址：

100124 北京市朝阳区平乐园100号

IPC主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/95

代理机构：

北京思海天达知识产权代理有限公司 11203

代理人：

刘萍

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法 [P].

于乃功 ;

李洪政 ;

徐乔 .

中国专利 :CN114910480A ,2022-08-16

[2]

一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法 [P].

周春荣 ;

丁际友 .

中国专利 :CN118362562A ,2024-07-19

[3]

一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法 [P].

周春荣 ;

丁际友 .

中国专利 :CN118362562B ,2025-03-18

[4]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质 [P].

陈海龙 ;

陈加豪 ;

袁洪 .

中国专利 :CN119624961B ,2025-04-15

[5]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质 [P].

陈海龙 ;

陈加豪 ;

袁洪 .

中国专利 :CN119624961A ,2025-03-14

[6]

一种晶圆表面缺陷智能检测方法、装置 [P].

张效栋 ;

朱琳琳 ;

程威盛 ;

刘现磊 .

中国专利 :CN116183623B ,2024-04-26

[7]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809A ,2024-04-02

[8]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809B ,2024-05-14

[9]

一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

李守龙 ;

刘建华 ;

路中升 ;

罗强 .

中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07

[10]

一种基于视觉图像的晶圆表面缺陷分区域检测方法 [P].

喻志勇 ;

王进 ;

郑涛 ;

陆国栋 .

中国专利 :CN110286126B ,2019-09-27

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