一种基于视觉图像的晶圆表面缺陷分区域检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910524321.4

申请日：

2019-06-17

公开(公告)号：

CN110286126B

公开(公告)日：

2019-09-27

发明(设计)人：

喻志勇王进郑涛陆国栋

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市凤山街道冶山路479号科创大厦12楼

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N2194 G01N2195

代理机构：

杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213

代理人：

吴秉中

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20190617
2021-09-14	授权	授权
2019-09-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法 [P].

于乃功 ;

李洪政 ;

徐乔 .

中国专利 :CN114910480A ,2022-08-16

[2]

一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法 [P].

于乃功 ;

李洪政 ;

徐乔 .

中国专利 :CN114910480B ,2024-07-02

[3]

一种基于视觉图像的表面缺陷检测方法及系统 [P].

刘海涌 ;

姚玉峰 ;

于江涛 ;

孙弘超 .

中国专利 :CN119784721A ,2025-04-08

[4]

一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法 [P].

周春荣 ;

丁际友 .

中国专利 :CN118362562A ,2024-07-19

[5]

一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法 [P].

周春荣 ;

丁际友 .

中国专利 :CN118362562B ,2025-03-18

[6]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809A ,2024-04-02

[7]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809B ,2024-05-14

[8]

一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

李守龙 ;

刘建华 ;

路中升 ;

罗强 .

中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07

[9]

一种可划分区域检测晶圆表面缺陷的装置 [P].

田麟 .

中国专利 :CN221427688U ,2024-07-26

[10]

一种微观晶圆表面缺陷图像检测方法 [P].

赵昕玥 ;

张树有 ;

何再兴 ;

刘明明 ;

王宏远 ;

谭建荣 .

中国专利 :CN108765389A ,2018-11-06

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