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一种可划分区域检测晶圆表面缺陷的装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323576316.9
申请日：
2023-12-26
公开(公告)号：
CN221427688U
公开(公告)日：
2024-07-26
发明(设计)人：
田麟
申请人：
上海威缶电子科技有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718
代理人：
赵然
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-26 | 授权 | 授权 |