学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

一种晶圆表面缺陷检测装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121812835.9
申请日：
2021-08-05
公开(公告)号：
CN215640914U
公开(公告)日：
2022-01-25
发明(设计)人：
陈壮 沈皓光 迟祖超 李萌珂
申请人：
申请人地址：
266500 山东省青岛市黄岛区红石崖街道山王河路1088号
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
G01N2194 G01N2101
代理机构：
北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479
代理人：
高园园
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-01-25 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆表面缺陷检测系统 [P]. 
江静 ;
包峰 .
中国专利 :CN217822662U ,2022-11-15
[2]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
王红成 ;
黄晓园 .
中国专利 :CN223551632U ,2025-11-14
[3]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
黄雷 .
中国专利 :CN207540992U ,2018-06-26
[4]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
季建松 .
中国专利 :CN220508772U ,2024-02-20
[5]
一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P]. 
李守龙 ;
刘建华 ;
路中升 ;
罗强 .
中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07
[6]
一种晶圆表面缺陷智能检测装置 [P]. 
林中龙 ;
洪亚德 ;
王士奇 ;
李瑞晟 .
中国专利 :CN217774838U ,2022-11-11
[7]
晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
张武杰 .
中国专利 :CN120213941A ,2025-06-27
[8]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
陈兵 ;
曹云峰 .
中国专利 :CN223346769U ,2025-09-16
[9]
一种晶圆表面缺陷检测系统 [P]. 
尹富宝 .
中国专利 :CN216871931U ,2022-07-01
[10]
晶圆表面缺陷检测方法及其装置 [P]. 
王上棋 ;
陈苗霈 ;
吴翰宗 ;
蔡佳琪 ;
李依晴 .
中国专利 :CN115127999A ,2022-09-30
12345