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一种晶圆表面缺陷检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322117489.8
申请日：
2023-08-07
公开(公告)号：
CN220508772U
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
季建松
申请人：
江阴佳泰电子科技有限公司
申请人地址：
214400 江苏省无锡市江阴市临港新城璜土镇迎宾东路33号
IPC主分类号：
G01N21/01
IPC分类号：
G01N21/956
H01L21/66
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 授权 | 授权 |