共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种用于晶圆表面缺陷的检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421244149.X
申请日：
2024-06-03
公开(公告)号：
CN222979478U
公开(公告)日：
2025-06-13
发明(设计)人：
王磊
王加柱
申请人：
江苏赫为智能科技有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市经济开发区高浪东路999号-8-D2-506
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
G01N21/01
G01N1/34
代理机构：
无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569
代理人：
陈勤
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
衡水市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-13 | 授权 | 授权 |
| 2025-12-30 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):G01N 21/95变更事项:专利权人变更前:江苏赫为智能科技有限公司变更后:无锡赫智科技有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:214000 江苏省无锡市经济开发区高浪东路999号-8-D2-506变更后:214000 江苏省无锡市经济开发区高浪东路999号-8-D2-506 |