一种晶圆表面缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422902827.3

申请日：

2024-11-26

公开(公告)号：

CN223551632U

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

王红成黄晓园

申请人：

东莞理工学院

申请人地址：

523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区大学路1号

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/01 B25B11/00

代理机构：

广州永华专利代理有限公司 44478

代理人：

陈振坚

法律状态：

授权

国省代码：

山西省晋中市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆表面缺陷检测装置 [P].

季建松 .

中国专利 :CN220508772U ,2024-02-20

[2]

一种晶圆表面缺陷检测装置 [P].

黄雷 .

中国专利 :CN207540992U ,2018-06-26

[3]

一种晶圆表面缺陷检测装置 [P].

陈壮 ;

沈皓光 ;

迟祖超 ;

李萌珂 .

中国专利 :CN215640914U ,2022-01-25

[4]

一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

李守龙 ;

刘建华 ;

路中升 ;

罗强 .

中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07

[5]

晶圆表面缺陷检测系统 [P].

江静 ;

包峰 .

中国专利 :CN217822662U ,2022-11-15

[6]

一种晶圆表面缺陷智能检测装置 [P].

林中龙 ;

洪亚德 ;

王士奇 ;

李瑞晟 .

中国专利 :CN217774838U ,2022-11-11

[7]

晶圆表面缺陷检测装置 [P].

张武杰 .

中国专利 :CN120213941A ,2025-06-27

[8]

一种晶圆表面缺陷检测装置 [P].

陈兵 ;

曹云峰 .

中国专利 :CN223346769U ,2025-09-16

[9]

晶圆表面缺陷检测方法及其装置 [P].

王上棋 ;

陈苗霈 ;

吴翰宗 ;

蔡佳琪 ;

李依晴 .

中国专利 :CN115127999A ,2022-09-30

[10]

一种用于晶圆表面缺陷的检测装置 [P].

王磊 ;

王加柱 .

中国专利 :CN222979478U ,2025-06-13

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