多级磁场电弧离子镀和射频磁控溅射复合沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510450576.2

申请日：

2015-07-28

公开(公告)号：

CN104975263A

公开(公告)日：

2015-10-14

发明(设计)人：

魏永强宗晓亚蒋志强吴忠振刘源

申请人：

申请人地址：

450015 河南省郑州市二七区大学中路2号郑州航院家属院26号楼4单元2楼南户

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

C23C1435 C23C1422

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633315477 IPC(主分类):C23C 14/32 专利申请号:2015104505762 申请日:20150728
2015-10-14	公开	公开

共 50 条

[1]

多级磁场电弧离子镀和孪生靶中频磁控溅射复合沉积方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

侯军兴 ;

魏永辉 ;

刘源 ;

蒋志强 ;

符寒光 .

中国专利 :CN105734501A ,2016-07-06

[2]

多级磁场电弧离子镀和高功率脉冲磁控溅射复合沉积方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

蒋志强 ;

吴忠振 ;

侯军兴 .

中国专利 :CN104947046B ,2015-09-30

[3]

电弧离子镀和高功率脉冲磁控溅射复合的沉积方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

蒋志强 ;

吴忠振 .

中国专利 :CN104862653A ,2015-08-26

[4]

多级磁场离子镀和孪生靶高功率脉冲磁控溅射复合方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

魏永辉 ;

吴忠振 ;

侯军兴 ;

蒋志强 ;

符寒光 .

中国专利 :CN105908135A ,2016-08-31

[5]

电弧离子镀和孪生靶双极性高功率脉冲磁控溅射复合方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

魏永辉 ;

侯军兴 ;

蒋志强 ;

符寒光 .

中国专利 :CN105803411A ,2016-07-27

[6]

活动磁场电弧离子镀与高功率脉冲磁控溅射复合沉积方法 [P].

魏永强 ;

王好平 ;

宗晓亚 ;

张新国 ;

刘学申 ;

蒋志强 .

中国专利 :CN109989030A ,2019-07-09

[7]

组合磁场电弧离子镀与高功率脉冲磁控溅射复合沉积方法 [P].

魏永强 ;

王好平 ;

宗晓亚 ;

张华阳 ;

侯军兴 ;

蒋志强 .

中国专利 :CN109989009A ,2019-07-09

[8]

传输方向可调式的多级磁场电弧离子镀方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

吴忠振 ;

蒋志强 .

中国专利 :CN105088150A ,2015-11-25

[9]

内衬正偏压锥形管和直管复合的多级磁场电弧离子镀方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

张华阳 ;

刘学申 ;

刘源 ;

侯军兴 ;

蒋志强 ;

冯宪章 .

中国专利 :CN106756823B ,2017-05-31

[10]

内衬正偏压锥形管的多级磁场电弧离子镀方法 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

侯军兴 ;

张华阳 ;

刘源 ;

刘学申 ;

蒋志强 ;

冯宪章 .

中国专利 :CN106637098A ,2017-05-10

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