共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
多孔卡盘工作台和多孔卡盘工作台的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010460784.1
申请日：
2020-05-27
公开(公告)号：
CN112053987A
公开(公告)日：
2020-12-08
发明(设计)人：
马路良吾
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-08 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20200527 |