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卡盘工作台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110709939.5
申请日：
2021-06-25
公开(公告)号：
CN113858457B
公开(公告)日：
2025-09-26
发明(设计)人：
金子智洋
铃木章文
鹈鹰俊
田中优也
申请人：
株式会社迪思科
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
B28D5/02
IPC分类号：
B28D7/00
B28D7/04
H01L21/683
H01L21/78
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;乔婉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-26 | 授权 | 授权 |