共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
卡盘工作台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010095934.3
申请日：
2020-02-17
公开(公告)号：
CN111599739B
公开(公告)日：
2025-08-22
发明(设计)人：
现王园二郎
申请人：
株式会社迪思科
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/304
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-22 | 授权 | 授权 |