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卡盘工作台

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910434221.2
申请日：
2019-05-23
公开(公告)号：
CN110534471A
公开(公告)日：
2019-12-03
发明(设计)人：
森俊 波冈伸一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L21687 H01L21304
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-12-03 公开 公开
2021-05-11 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20190523
共 50 条
[1]
卡盘工作台 [P]. 
森俊 ;
波冈伸一 .
日本专利 :CN110534471B ,2024-02-09
[2]
卡盘工作台 [P]. 
佐藤淳 ;
大庭龙吾 ;
小川雄辉 ;
北原信康 ;
森数洋司 ;
堀口义则 .
中国专利 :CN103962729A ,2014-08-06
[3]
卡盘工作台 [P]. 
福冈武臣 .
中国专利 :CN106997864B ,2017-08-01
[4]
卡盘工作台 [P]. 
饭塚健太吕 ;
寺岛将人 .
中国专利 :CN103715127B ,2014-04-09
[5]
卡盘工作台 [P]. 
金子智洋 ;
铃木章文 ;
鹈鹰俊 ;
田中优也 .
日本专利 :CN113858457B ,2025-09-26
[6]
卡盘工作台 [P]. 
富樫谦 .
中国专利 :CN106505027A ,2017-03-15
[7]
卡盘工作台 [P]. 
金子智洋 ;
铃木章文 ;
鹈鹰俊 ;
田中优也 .
中国专利 :CN113858457A ,2021-12-31
[8]
卡盘工作台 [P]. 
久保徹雄 ;
山下真司 .
中国专利 :CN113492341A ,2021-10-12
[9]
卡盘工作台 [P]. 
山中聪 .
中国专利 :CN109048655B ,2018-12-21
[10]
卡盘工作台 [P]. 
石井茂 .
中国专利 :CN107263755A ,2017-10-20
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