卡盘工作台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610791367.9

申请日：

2016-08-31

公开(公告)号：

CN106505027A

公开(公告)日：

2017-03-15

发明(设计)人：

富樫谦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;于靖帅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-15	公开	公开
2021-10-08	授权	授权
2018-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20160831

共 50 条

[1]

卡盘工作台 [P].

饭塚健太吕 ;

寺岛将人 .

中国专利 :CN103715127B ,2014-04-09

[2]

卡盘工作台 [P].

吴斌 .

中国专利 :CN104103568A ,2014-10-15

[3]

卡盘工作台 [P].

金子智洋 ;

铃木章文 ;

鹈鹰俊 ;

田中优也 .

日本专利 :CN113858457B ,2025-09-26

[4]

卡盘工作台 [P].

森俊 ;

波冈伸一 .

中国专利 :CN110534471A ,2019-12-03

[5]

卡盘工作台 [P].

佐藤淳 ;

大庭龙吾 ;

小川雄辉 ;

北原信康 ;

森数洋司 ;

堀口义则 .

中国专利 :CN103962729A ,2014-08-06

[6]

卡盘工作台 [P].

金子智洋 ;

铃木章文 ;

鹈鹰俊 ;

田中优也 .

中国专利 :CN113858457A ,2021-12-31

[7]

卡盘工作台 [P].

久保徹雄 ;

山下真司 .

中国专利 :CN113492341A ,2021-10-12

[8]

卡盘工作台 [P].

山中聪 .

中国专利 :CN109048655B ,2018-12-21

[9]

卡盘工作台 [P].

石井茂 .

中国专利 :CN107263755A ,2017-10-20

[10]

卡盘工作台 [P].

现王园二郎 .

日本专利 :CN111599739B ,2025-08-22

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