化学机械研磨设备及研磨方法

被引：0

申请号：

CN202210555700.1

申请日：

2022-05-20

公开(公告)号：

CN114833716A

公开(公告)日：

2022-08-02

发明(设计)人：

蒋锡兵唐强

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3730 B24B3700 B24B4900 B24B3734 B24B53017

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

马吉兰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-02	公开	公开
2022-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20220520

共 50 条

[1]

化学机械研磨设备及使用该化学机械研磨设备的研磨方法 [P].

江志琴 ;

李芳 .

中国专利 :CN102310358A ,2012-01-11

[2]

化学机械研磨设备及化学机械研磨方法 [P].

李福洪 .

中国专利 :CN101362313B ,2009-02-11

[3]

化学机械研磨设备以及化学机械研磨方法 [P].

夏金伟 ;

张中连 ;

龚小春 ;

陈滨 ;

姜北 .

中国专利 :CN102756328A ,2012-10-31

[4]

化学机械研磨装置及化学机械研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN102950536A ,2013-03-06

[5]

化学机械研磨控制方法及装置、化学机械研磨方法及设备 [P].

董呈龙 ;

龚大伟 ;

王一清 .

中国专利 :CN102601718B ,2012-07-25

[6]

研磨头及化学机械研磨设备 [P].

王庆玲 ;

邵群 .

中国专利 :CN202200170U ,2012-04-25

[7]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

廖帆伟 ;

沈毛振 ;

王润泽 .

中国专利 :CN223589099U ,2025-11-25

[8]

化学机械研磨方法、研磨液喷嘴及化学机械研磨设备 [P].

弓艳霞 ;

王永华 .

中国专利 :CN101722468A ,2010-06-09

[9]

研磨垫、化学机械研磨设备及研磨方法 [P].

徐乃康 ;

王建雄 ;

杨志远 .

中国专利 :CN118204900A ,2024-06-18

[10]

化学机械研磨装置及研磨方法 [P].

陈铭祥 ;

颜势锜 ;

施凯侥 .

中国专利 :CN117943968A ,2024-04-30

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