一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备

被引：0

申请号：

CN202221600449.8

申请日：

2022-06-24

公开(公告)号：

CN217902244U

公开(公告)日：

2022-11-25

发明(设计)人：

娄飞

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区大浪街道新石社区嘉义源数码科技园7号1层

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271

代理人：

满群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

纳米压印软模固定装置和纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN112327576A ,2021-02-05

[2]

纳米压印软模固定装置和纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN112327576B ,2024-07-30

[3]

一种纳米压印夹持装置及纳米压印设备 [P].

张志圣 ;

娄建 ;

马炳乾 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN214540376U ,2021-10-29

[4]

纳米压印方法及纳米压印设备 [P].

陈程 ;

彭豪杰 ;

何郴华 ;

顾睿 ;

李海虹 ;

初守庆 .

中国专利 :CN118605081A ,2024-09-06

[5]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

[6]

一种实现均匀压印的纳米压印设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN206725961U ,2017-12-08

[7]

一种可双面压印的纳米压印设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN113885296A ,2022-01-04

[8]

一种纳米压印设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN210954603U ,2020-07-07

[9]

一种纳米压印设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN207198548U ,2018-04-06

[10]

一种纳米压印设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN211180527U ,2020-08-04

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