纳米压印软模固定装置和纳米压印设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011152839.9

申请日：

2020-10-23

公开(公告)号：

CN112327576A

公开(公告)日：

2021-02-05

发明(设计)人：

臧法珩赵东峰王喆饶轶

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287

代理人：

梁馨怡

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-05	公开	公开
2021-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20201023
2022-12-09	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 登记生效日:20221128 变更事项:申请人变更前权利人:歌尔股份有限公司变更后权利人:歌尔光学科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号变更后权利人:261031 山东省潍坊市高新区清池街道永春社区惠贤路3999号歌尔光电产业园三期1号厂房

共 50 条

[1]

纳米压印软模固定装置和纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN112327576B ,2024-07-30

[2]

一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备 [P].

娄飞 .

中国专利 :CN217902244U ,2022-11-25

[3]

纳米压印工艺监测装置、方法和纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

李琨 ;

董立超 ;

杜凯凯 ;

艾立夫 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN111929987A ,2020-11-13

[4]

纳米压印设备、纳米压印方法 [P].

赵泽佳 ;

刘楚军 ;

张国庆 ;

徐斌 .

中国专利 :CN118192165A ,2024-06-14

[5]

纳米压印工艺监测方法、监测装置及纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

李琨 ;

董立超 ;

杜凯凯 ;

艾立夫 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN111929986A ,2020-11-13

[6]

纳米压印设备 [P].

鲁立国 ;

舒成悦 ;

范昶 .

美国专利 :CN221946331U ,2024-11-01

[7]

纳米压印设备 [P].

张欣 .

中国专利 :CN106483759A ,2017-03-08

[8]

纳米压印方法及纳米压印设备 [P].

陈程 ;

彭豪杰 ;

何郴华 ;

顾睿 ;

李海虹 ;

初守庆 .

中国专利 :CN118605081A ,2024-09-06

[9]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

[10]

一种纳米压印用软膜固定装置 [P].

邓萌萌 .

中国专利 :CN120891700A ,2025-11-04

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