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一种集成电路生产用静电消除器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322488605.7
申请日：
2023-09-13
公开(公告)号：
CN220798600U
公开(公告)日：
2024-04-16
发明(设计)人：
范滕
夏友印
申请人：
广东腾维新材料科技有限公司
申请人地址：
529000 广东省江门市江海区科苑路17号6栋第1、3、4层（信息申报）
IPC主分类号：
H05F3/00
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
东莞市启信展华知识产权代理事务所(普通合伙) 44579
代理人：
冯蓉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-16 | 授权 | 授权 |