一种集成电路生产车间工位除静电装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022438562.8
申请日
2020-10-28
公开(公告)号
CN213361692U
公开(公告)日
2021-06-04
发明(设计)人
刘丽旋
申请人
申请人地址
510000 广东省广州市黄埔区萝穗南三街1号2502房
IPC主分类号
F16M1110
IPC分类号
F16M1118 F16M1302 F16M1128 H05F300
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种集成电路生产用除静电装置 [P]. 
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王晓莹 ;
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[2]
集成电路生产车间 [P]. 
吕耀安 .
中国专利 :CN106285081A ,2017-01-04
[3]
一种集成电路生产用静电消除器 [P]. 
范滕 ;
夏友印 .
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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吕耀安 .
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[10]
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