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一种集成电路生产用除静电装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022357796.X
申请日：
2020-10-21
公开(公告)号：
CN215268819U
公开(公告)日：
2021-12-21
发明(设计)人：
马艳
王晓莹
田梅安
申请人：
申请人地址：
215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区(市高新技术创业服务中心)B幢209-210室
IPC主分类号：
H05F100
IPC分类号：
H05F300
H01L2167
代理机构：
北京化育知识产权代理有限公司 11833
代理人：
尹均利
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-21 | 授权 | 授权 |