多晶金刚石自立基板及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980086235.8

申请日：

2019-09-25

公开(公告)号：

CN113557588B

公开(公告)日：

2024-05-31

发明(设计)人：

古贺祥泰

申请人：

胜高股份有限公司

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

C23C16/27

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

梅黎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

多晶金刚石自立基板及其制造方法 [P].

古贺祥泰 .

中国专利 :CN113557588A ,2021-10-26

[2]

多晶金刚石自立基板的制造方法 [P].

古贺祥泰 .

中国专利 :CN113544318A ,2021-10-22

[3]

多晶金刚石自立基板的制造方法 [P].

古贺祥泰 .

日本专利 :CN113544318B ,2024-01-30

[4]

多晶金刚石自立基板及其制备方法 [P].

古贺祥泰 .

中国专利 :CN114672879A ,2022-06-28

[5]

多晶金刚石自立基板及其制备方法 [P].

古贺祥泰 .

日本专利 :CN114672879B ,2024-11-08

[6]

金刚石基板的制造方法，金刚石基板以及金刚石自立基板 [P].

野口仁 ;

白井省三 ;

牧野俊晴 ;

小仓政彦 ;

加藤宙光 ;

川岛宏幸 ;

桑原大辅 ;

山崎聪 ;

竹内大辅 ;

徳田规夫 ;

猪熊孝夫 ;

松本翼 .

中国专利 :CN107130294B ,2017-09-05

[7]

多晶金刚石及其制造方法 [P].

池田和宽 ;

有元桂子 ;

山本佳津子 ;

角谷均 .

中国专利 :CN103732535B ,2014-04-16

[8]

多晶金刚石及其制造方法 [P].

角谷均 ;

山本佳津子 ;

佐藤武 ;

有元桂子 .

中国专利 :CN102712478A ,2012-10-03

[9]

一种低翘曲度多晶金刚石薄膜及其制备方法 [P].

孟祥旭 ;

张鹏飞 ;

夏营 ;

梅远洋 ;

刘洋 ;

常豪锋 ;

张杨 ;

赵炯 ;

张云鹤 .

中国专利 :CN120519820A ,2025-08-22

[10]

多晶金刚石片的制备方法及多晶金刚石片 [P].

张晶 ;

王陶 ;

肖柏汲 .

中国专利 :CN120400996A ,2025-08-01

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