一种用于碳化硅单晶生长炉的腔体

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322771390.X

申请日：

2023-10-16

公开(公告)号：

CN221028785U

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

龙博腾许耀迪

申请人：

厦门天三半导体有限公司

申请人地址：

361000 福建省厦门市火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-7号201A

IPC主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B35/00

代理机构：

厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225

代理人：

阙汀祥

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅单晶生长炉 [P].

吴喜成 ;

王裕鑫 ;

谢云生 .

中国专利 :CN221588753U ,2024-08-23

[2]

一种碳化硅单晶生长炉 [P].

陈鹏飞 ;

李嘉琪 ;

苗浩伟 ;

杨倩倩 .

中国专利 :CN220433083U ,2024-02-02

[3]

一种碳化硅单晶生长炉 [P].

胡动力 ;

王人松 .

中国专利 :CN217231017U ,2022-08-19

[4]

一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置 [P].

刘欣宇 ;

袁振洲 .

中国专利 :CN214400807U ,2021-10-15

[5]

碳化硅单晶生长炉的压力控制系统 [P].

黄鸣 ;

丁文革 .

中国专利 :CN202705569U ,2013-01-30

[6]

高温碳化硅单晶生长炉的加热温控装置 [P].

王香泉 ;

郝建民 ;

王利杰 ;

孟大磊 ;

郭俊敏 ;

洪颖 .

中国专利 :CN201924102U ,2011-08-10

[7]

用于液相法碳化硅单晶生长炉的加热结构 [P].

林洪峰 ;

李书森 ;

蔡蔚 ;

刘令 ;

汪愈丰 .

中国专利 :CN221141953U ,2024-06-14

[8]

碳化硅单晶生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210856410U ,2020-06-26

[9]

碳化硅单晶的制备方法与碳化硅支撑系统与单晶生长炉 [P].

杨丽雯 ;

张云伟 ;

何丽娟 ;

程章勇 ;

康亚荣 ;

李天运 .

中国专利 :CN114438588A ,2022-05-06

[10]

碳化硅单晶生长坩埚 [P].

王旻峰 ;

张洁 ;

汪良 ;

付芬 ;

邓树军 .

中国专利 :CN214572368U ,2021-11-02

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