一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120476163.2

申请日：

2021-03-04

公开(公告)号：

CN214400807U

公开(公告)日：

2021-10-15

发明(设计)人：

刘欣宇袁振洲

申请人：

申请人地址：

210000 江苏省南京市中国(江苏)自由贸易试验区南京片区研创园团结路99号孵鹰大厦2189室

IPC主分类号：

C30B3500

IPC分类号：

C30B2936 F27D312

代理机构：

深圳市创富知识产权代理有限公司 44367

代理人：

林霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅单晶生长炉 [P].

陈鹏飞 ;

李嘉琪 ;

苗浩伟 ;

杨倩倩 .

中国专利 :CN220433083U ,2024-02-02

[2]

一种碳化硅单晶生长炉 [P].

吴喜成 ;

王裕鑫 ;

谢云生 .

中国专利 :CN221588753U ,2024-08-23

[3]

一种碳化硅单晶生长炉 [P].

胡动力 ;

王人松 .

中国专利 :CN217231017U ,2022-08-19

[4]

一种用于碳化硅单晶生长炉的腔体 [P].

龙博腾 ;

许耀迪 .

中国专利 :CN221028785U ,2024-05-28

[5]

高温碳化硅单晶生长炉的加热温控装置 [P].

王香泉 ;

郝建民 ;

王利杰 ;

孟大磊 ;

郭俊敏 ;

洪颖 .

中国专利 :CN201924102U ,2011-08-10

[6]

碳化硅单晶生长炉的压力控制系统 [P].

黄鸣 ;

丁文革 .

中国专利 :CN202705569U ,2013-01-30

[7]

一种碳化硅单晶生长炉冷却循环水过滤装置 [P].

张冬 ;

李文勇 ;

陈荣坤 ;

田茗文 .

中国专利 :CN215275993U ,2021-12-24

[8]

一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置 [P].

张冬 ;

李文勇 ;

陈荣坤 ;

马敬军 .

中国专利 :CN215491409U ,2022-01-11

[9]

碳化硅单晶的制备方法与碳化硅支撑系统与单晶生长炉 [P].

杨丽雯 ;

张云伟 ;

何丽娟 ;

程章勇 ;

康亚荣 ;

李天运 .

中国专利 :CN114438588A ,2022-05-06

[10]

碳化硅单晶生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210856410U ,2020-06-26

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