一种电子级多晶硅生产用三氯氢硅的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211142371.4

申请日：

2022-09-20

公开(公告)号：

CN115490236B

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

彭中李寿琴刘逸枫甘居富罗周向春林程茂林杜炳胜

申请人：

云南通威高纯晶硅有限公司

申请人地址：

678100 云南省保山市工贸园区昌宁园中园

IPC主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

代理机构：

成都天嘉知识产权代理有限公司 51211

代理人：

王艳平

法律状态：

授权

国省代码：

云南省保山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电子级多晶硅生产用三氯氢硅的制备方法及系统 [P].

彭中 ;

李寿琴 ;

刘逸枫 ;

甘居富 ;

罗周 ;

向春林 ;

程茂林 ;

杜炳胜 .

中国专利 :CN115490236A ,2022-12-20

[2]

一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法 [P].

马国栋 ;

李强 ;

王兵 ;

杨光 ;

裴艳红 ;

刘团练 ;

李峥 ;

陈宁 ;

赵文文 ;

王志远 ;

邓兆敬 .

中国专利 :CN102530960A ,2012-07-04

[3]

生产电子级多晶硅的方法 [P].

吴锋 ;

黄金发 ;

陈卓 ;

张天雨 ;

王海豹 .

中国专利 :CN113264528A ,2021-08-17

[4]

电子级多晶硅的制备方法 [P].

严大洲 ;

杨永亮 ;

万烨 ;

汤传斌 ;

张升学 ;

姜利霞 ;

石何武 ;

张志刚 ;

赵雄 .

中国专利 :CN108467042B ,2018-08-31

[5]

一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的系统 [P].

谭德军 .

中国专利 :CN204057974U ,2014-12-31

[6]

合成多晶硅原料三氯氢硅的方法 [P].

王跃林 ;

刘莉 ;

龙成坤 .

中国专利 :CN101279734B ,2008-10-08

[7]

多晶硅生产中的三氯氢硅提纯系统及方法 [P].

苏国良 ;

孙宝昌 ;

达伟民 ;

徐春宇 ;

阿热帕提·阿扎提 ;

郑小龙 ;

吕学谦 ;

李一诺 ;

陈建峰 ;

初广文 .

中国专利 :CN119100401A ,2024-12-10

[8]

一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的方法及系统 [P].

谭德军 .

中国专利 :CN104211067A ,2014-12-17

[9]

采用三氯氢硅和二氯二氢硅混合原料生产多晶硅的方法 [P].

文咏祥 ;

赵明 ;

文剑 ;

陈建 ;

余波 .

中国专利 :CN102642834A ,2012-08-22

[10]

电子级多晶硅还原炉及多晶硅的生产方法 [P].

高召帅 ;

李钊 ;

吴锋 ;

于跃 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN107500298B ,2017-12-22

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