一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的方法及系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410430504.7
申请日
2014-08-28
公开(公告)号
CN104211067A
公开(公告)日
2014-12-17
发明(设计)人
谭德军
申请人
申请人地址
430015 湖北省武汉市江汉区菱角湖万达广场A3写字楼1608室
IPC主分类号
C01B3303
IPC分类号
代理机构
北京华沛德权律师事务所 11302
代理人
刘杰
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的系统 [P]. 
谭德军 .
中国专利 :CN204057974U ,2014-12-31
[2]
三氯氢硅的除杂方法、多晶硅材料和三氯氢硅除杂系统 [P]. 
王体虎 ;
张宝顺 ;
宗冰 .
中国专利 :CN110655081B ,2020-01-07
[3]
制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置 [P]. 
陈维平 .
中国专利 :CN101143723A ,2008-03-19
[4]
合成多晶硅原料三氯氢硅的方法 [P]. 
王跃林 ;
刘莉 ;
龙成坤 .
中国专利 :CN101279734B ,2008-10-08
[5]
制备多晶硅的系统和提纯三氯氢硅的系统 [P]. 
李锋 ;
王利强 ;
张艳春 ;
濮希杰 ;
张晓峰 ;
高阳 ;
隋永亮 ;
庄志远 .
中国专利 :CN203959830U ,2014-11-26
[6]
一种电子级多晶硅生产用三氯氢硅的制备方法及系统 [P]. 
彭中 ;
李寿琴 ;
刘逸枫 ;
甘居富 ;
罗周 ;
向春林 ;
程茂林 ;
杜炳胜 .
中国专利 :CN115490236A ,2022-12-20
[7]
利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法 [P]. 
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN104140104A ,2014-11-12
[8]
一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法 [P]. 
马国栋 ;
李强 ;
王兵 ;
杨光 ;
裴艳红 ;
刘团练 ;
李峥 ;
陈宁 ;
赵文文 ;
王志远 ;
邓兆敬 .
中国专利 :CN102530960A ,2012-07-04
[9]
一种电子级多晶硅生产用三氯氢硅的制备方法 [P]. 
彭中 ;
李寿琴 ;
刘逸枫 ;
甘居富 ;
罗周 ;
向春林 ;
程茂林 ;
杜炳胜 .
中国专利 :CN115490236B ,2024-03-29
[10]
制备三氯氢硅的方法及系统 [P]. 
武珠峰 ;
宋高杰 ;
夏进京 ;
刘兴平 ;
吴昌勇 ;
马金杉 ;
潘从伟 .
中国专利 :CN113387361A ,2021-09-14