制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置

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专利类型
发明
申请号
CN200710143522.7
申请日
2007-08-08
公开(公告)号
CN101143723A
公开(公告)日
2008-03-19
发明(设计)人
陈维平
申请人
申请人地址
江苏省徐州市经济开发区杨山路8号楼306号
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
C01B3303
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
韦欣华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
合成多晶硅原料三氯氢硅的方法 [P]. 
王跃林 ;
刘莉 ;
龙成坤 .
中国专利 :CN101279734B ,2008-10-08
[2]
三氯氢硅的除杂方法、多晶硅材料和三氯氢硅除杂系统 [P]. 
王体虎 ;
张宝顺 ;
宗冰 .
中国专利 :CN110655081B ,2020-01-07
[3]
制备多晶硅的系统和提纯三氯氢硅的系统 [P]. 
李锋 ;
王利强 ;
张艳春 ;
濮希杰 ;
张晓峰 ;
高阳 ;
隋永亮 ;
庄志远 .
中国专利 :CN203959830U ,2014-11-26
[4]
采用三氯氢硅和二氯二氢硅混合原料生产多晶硅的方法 [P]. 
文咏祥 ;
赵明 ;
文剑 ;
陈建 ;
余波 .
中国专利 :CN102642834A ,2012-08-22
[5]
一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法 [P]. 
马国栋 ;
李强 ;
王兵 ;
杨光 ;
裴艳红 ;
刘团练 ;
李峥 ;
陈宁 ;
赵文文 ;
王志远 ;
邓兆敬 .
中国专利 :CN102530960A ,2012-07-04
[6]
制备多晶硅的方法和系统以及提纯三氯氢硅的方法和系统 [P]. 
李锋 ;
王利强 ;
张艳春 ;
濮希杰 ;
张晓峰 ;
高阳 ;
隋永亮 ;
庄志远 .
中国专利 :CN104003396B ,2014-08-27
[7]
制备三氯氢硅的方法 [P]. 
张升学 ;
万烨 ;
严大洲 ;
毋克力 ;
肖荣辉 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN103449446A ,2013-12-18
[8]
多晶硅棒对和制备多晶硅的方法 [P]. 
马蒂亚斯·维特兹 ;
斯特凡·费贝尔 .
中国专利 :CN106458609A ,2017-02-22
[9]
多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法和回收装置 [P]. 
叶冬梅 ;
张凯兴 ;
夏祥剑 ;
胡启红 ;
刘帅 ;
李禄元 ;
倪志伟 ;
米军 .
中国专利 :CN110240165B ,2019-09-17
[10]
一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产工艺中的启炉方法 [P]. 
钟建伟 ;
甘居富 ;
游书华 ;
彭中 ;
王亚萍 .
中国专利 :CN109607549A ,2019-04-12