制备多晶硅的系统和提纯三氯氢硅的系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420312266.5
申请日
2014-06-12
公开(公告)号
CN203959830U
公开(公告)日
2014-11-26
发明(设计)人
李锋 王利强 张艳春 濮希杰 张晓峰 高阳 隋永亮 庄志远
申请人
申请人地址
010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园
IPC主分类号
C01B3303
IPC分类号
C01B33107
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
李志东
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
制备多晶硅的方法和系统以及提纯三氯氢硅的方法和系统 [P]. 
李锋 ;
王利强 ;
张艳春 ;
濮希杰 ;
张晓峰 ;
高阳 ;
隋永亮 ;
庄志远 .
中国专利 :CN104003396B ,2014-08-27
[2]
制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置 [P]. 
陈维平 .
中国专利 :CN101143723A ,2008-03-19
[3]
多晶硅生产中的三氯氢硅提纯系统及方法 [P]. 
苏国良 ;
孙宝昌 ;
达伟民 ;
徐春宇 ;
阿热帕提·阿扎提 ;
郑小龙 ;
吕学谦 ;
李一诺 ;
陈建峰 ;
初广文 .
中国专利 :CN119100401A ,2024-12-10
[4]
三氯氢硅的除杂方法、多晶硅材料和三氯氢硅除杂系统 [P]. 
王体虎 ;
张宝顺 ;
宗冰 .
中国专利 :CN110655081B ,2020-01-07
[5]
提纯三氯氢硅的系统 [P]. 
吴锋 ;
李明峰 ;
李福中 ;
韩秀娟 ;
王海豹 .
中国专利 :CN212740754U ,2021-03-19
[6]
制备多晶硅的系统 [P]. 
石何武 ;
郑红梅 ;
严大洲 ;
汤传斌 ;
肖荣晖 .
中国专利 :CN104150486A ,2014-11-19
[7]
制备多晶硅的系统 [P]. 
石何武 ;
郑红梅 ;
严大洲 ;
汤传斌 ;
肖荣晖 .
中国专利 :CN204039069U ,2014-12-24
[8]
一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的系统 [P]. 
谭德军 .
中国专利 :CN204057974U ,2014-12-31
[9]
采用三氯氢硅和二氯二氢硅混合原料生产多晶硅的方法 [P]. 
文咏祥 ;
赵明 ;
文剑 ;
陈建 ;
余波 .
中国专利 :CN102642834A ,2012-08-22
[10]
多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统 [P]. 
汪应军 ;
张骞 .
中国专利 :CN202246100U ,2012-05-30