多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120324241.3

申请日：

2011-08-31

公开(公告)号：

CN202246100U

公开(公告)日：

2012-05-30

发明(设计)人：

汪应军张骞

申请人：

申请人地址：

441300 湖北省随州市经济技术开发区湖北晶星科技股份有限公司

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295

代理人：

黄为

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-30	授权	授权
2017-10-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B 33/107 申请日:20110831 授权公告日:20120530 终止日期:20160831

共 50 条

[1]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P].

牛刚 ;

罗佳林 ;

陈文吉 .

中国专利 :CN222427176U ,2025-02-07

[2]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P].

牛刚 ;

罗佳林 ;

陈文吉 .

中国专利 :CN117531220A ,2024-02-09

[3]

多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法 [P].

黄国强 ;

王红星 ;

刘雪艳 ;

华超 ;

李鑫钢 .

中国专利 :CN101538044A ,2009-09-23

[4]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P].

郭婷 ;

赵长森 ;

牛强 ;

徐凯 ;

韩婷婷 .

中国专利 :CN218465511U ,2023-02-10

[5]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺 [P].

郭婷 ;

赵长森 ;

牛强 ;

徐凯 ;

韩婷婷 .

中国专利 :CN115259165B ,2025-01-03

[6]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P].

王亚楠 .

中国专利 :CN223026733U ,2025-06-27

[7]

多晶硅生产中的三氯氢硅提纯系统及方法 [P].

苏国良 ;

孙宝昌 ;

达伟民 ;

徐春宇 ;

阿热帕提·阿扎提 ;

郑小龙 ;

吕学谦 ;

李一诺 ;

陈建峰 ;

初广文 .

中国专利 :CN119100401A ,2024-12-10

[8]

多晶硅生产过程中的氯硅烷除硼系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202246099U ,2012-05-30

[9]

多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202226742U ,2012-05-23

[10]

多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统 [P].

张伟 ;

王惠 ;

宋高杰 ;

陈朝霞 ;

相文强 ;

赵阳 ;

董越杰 ;

王强 .

中国专利 :CN109678158A ,2019-04-26

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