一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422235052.9
申请日
2024-09-12
公开(公告)号
CN223026733U
公开(公告)日
2025-06-27
发明(设计)人
王亚楠
申请人
上海灏淇新能源科技有限公司
申请人地址
201600 上海市松江区欣玉路999弄4号101室
IPC主分类号
B01D3/30
IPC分类号
C01B33/107 B01D5/00
代理机构
上海知墨专利代理事务所(普通合伙) 31394
代理人
蒋坡
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P]. 
郭婷 ;
赵长森 ;
牛强 ;
徐凯 ;
韩婷婷 .
中国专利 :CN218465511U ,2023-02-10
[2]
多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统 [P]. 
汪应军 ;
张骞 .
中国专利 :CN202246100U ,2012-05-30
[3]
一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P]. 
牛刚 ;
罗佳林 ;
陈文吉 .
中国专利 :CN222427176U ,2025-02-07
[4]
一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺 [P]. 
郭婷 ;
赵长森 ;
牛强 ;
徐凯 ;
韩婷婷 .
中国专利 :CN115259165B ,2025-01-03
[5]
一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P]. 
牛刚 ;
罗佳林 ;
陈文吉 .
中国专利 :CN117531220A ,2024-02-09
[6]
多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法 [P]. 
黄国强 ;
王红星 ;
刘雪艳 ;
华超 ;
李鑫钢 .
中国专利 :CN101538044A ,2009-09-23
[7]
多晶硅生产过程中的氯硅烷除硼系统 [P]. 
汪应军 ;
詹迎春 .
中国专利 :CN202246099U ,2012-05-30
[8]
多晶硅生产过程中热量利用的装置 [P]. 
齐林喜 ;
赵亮 .
中国专利 :CN202785676U ,2013-03-13
[9]
多晶硅生产过程中余热利用的装置 [P]. 
朱国平 ;
潘和平 .
中国专利 :CN201488568U ,2010-05-26
[10]
多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统 [P]. 
汪应军 ;
詹迎春 .
中国专利 :CN202226742U ,2012-05-23