一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置

被引：0

申请号：

CN202222134714.4

申请日：

2022-08-12

公开(公告)号：

CN218465511U

公开(公告)日：

2023-02-10

发明(设计)人：

郭婷赵长森牛强徐凯韩婷婷

申请人：

申请人地址：

016064 内蒙古自治区鄂尔多斯市鄂托克旗棋盘井工业园区内

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

北京精金石知识产权代理有限公司 11470

代理人：

杨兰兰

法律状态：

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国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺 [P].

郭婷 ;

赵长森 ;

牛强 ;

徐凯 ;

韩婷婷 .

中国专利 :CN115259165B ,2025-01-03

[2]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P].

王亚楠 .

中国专利 :CN223026733U ,2025-06-27

[3]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P].

牛刚 ;

罗佳林 ;

陈文吉 .

中国专利 :CN222427176U ,2025-02-07

[4]

多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统 [P].

汪应军 ;

张骞 .

中国专利 :CN202246100U ,2012-05-30

[5]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P].

牛刚 ;

罗佳林 ;

陈文吉 .

中国专利 :CN117531220A ,2024-02-09

[6]

多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法 [P].

黄国强 ;

王红星 ;

刘雪艳 ;

华超 ;

李鑫钢 .

中国专利 :CN101538044A ,2009-09-23

[7]

多晶硅生产过程中的氯硅烷除硼系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202246099U ,2012-05-30

[8]

多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202226742U ,2012-05-23

[9]

多晶硅生产过程中热量利用的装置 [P].

齐林喜 ;

赵亮 .

中国专利 :CN202785676U ,2013-03-13

[10]

多晶硅生产过程中余热利用的装置 [P].

朱国平 ;

潘和平 .

中国专利 :CN201488568U ,2010-05-26

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