一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210969993.8

申请日：

2022-08-12

公开(公告)号：

CN115259165B

公开(公告)日：

2025-01-03

发明(设计)人：

郭婷赵长森牛强徐凯韩婷婷

申请人：

内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司

申请人地址：

016064 内蒙古自治区鄂尔多斯市鄂托克旗棋盘井工业园区内

IPC主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

代理机构：

北京精金石知识产权代理有限公司 11470

代理人：

杨兰兰

法律状态：

授权

国省代码：

黑龙江省哈尔滨市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P].

郭婷 ;

赵长森 ;

牛强 ;

徐凯 ;

韩婷婷 .

中国专利 :CN218465511U ,2023-02-10

[2]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P].

牛刚 ;

罗佳林 ;

陈文吉 .

中国专利 :CN117531220A ,2024-02-09

[3]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统 [P].

牛刚 ;

罗佳林 ;

陈文吉 .

中国专利 :CN222427176U ,2025-02-07

[4]

多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统 [P].

汪应军 ;

张骞 .

中国专利 :CN202246100U ,2012-05-30

[5]

一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P].

王亚楠 .

中国专利 :CN223026733U ,2025-06-27

[6]

多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法 [P].

黄国强 ;

王红星 ;

刘雪艳 ;

华超 ;

李鑫钢 .

中国专利 :CN101538044A ,2009-09-23

[7]

多晶硅生产过程中的氯硅烷除硼系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202246099U ,2012-05-30

[8]

多晶硅生产中的三氯氢硅提纯系统及方法 [P].

苏国良 ;

孙宝昌 ;

达伟民 ;

徐春宇 ;

阿热帕提·阿扎提 ;

郑小龙 ;

吕学谦 ;

李一诺 ;

陈建峰 ;

初广文 .

中国专利 :CN119100401A ,2024-12-10

[9]

多晶硅生产过程中废气的回收方法 [P].

侯雨 ;

王惠 ;

宋高杰 ;

相文强 ;

董越杰 ;

赵阳 .

中国专利 :CN111036029A ,2020-04-21

[10]

一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法 [P].

马国栋 ;

李强 ;

王兵 ;

杨光 ;

裴艳红 ;

刘团练 ;

李峥 ;

陈宁 ;

赵文文 ;

王志远 ;

邓兆敬 .

中国专利 :CN102530960A ,2012-07-04

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