共 50 条
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被加工物的加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310842055.6
申请日：
2023-07-10
公开(公告)号：
CN117438375A
公开(公告)日：
2024-01-23
发明(设计)人：
高桥宏行
西田吉辉
横尾晋
申请人：
株式会社迪思科
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/78
IPC分类号：
H01L21/76
H01L21/02
H01L21/3065
H01L21/304
B08B3/08
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;杨俊波
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/78申请日:20230710 |
| 2024-01-23 | 公开 | 公开 |