半导体基板和半导体基板的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201580037757.0
申请日
2015-07-09
公开(公告)号
CN106489187A
公开(公告)日
2017-03-08
发明(设计)人
今冈功 小林元树 内田英次 八木邦明 河原孝光 八田直记 南章行 坂田丰和 牧野友厚 加藤光治
申请人
申请人地址
日本爱知县
IPC主分类号
H01L2102
IPC分类号
H01L21265 H01L21336 H01L2978
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
苗堃;金世煜
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体基板的制造方法和半导体基板 [P]. 
黄杰 ;
宁策 ;
李正亮 ;
胡合合 ;
贺家煜 ;
姚念琦 ;
赵坤 ;
曲峰 ;
许晓春 .
中国专利 :CN113838801A ,2021-12-24
[2]
半导体基板的制造方法和半导体基板 [P]. 
黄杰 ;
宁策 ;
李正亮 ;
胡合合 ;
贺家煜 ;
姚念琦 ;
赵坤 ;
曲峰 ;
许晓春 .
中国专利 :CN113838801B ,2024-10-22
[3]
半导体基板的制造方法、半导体基板、及半导体基板的制造装置 [P]. 
荻原光彦 ;
桥本明弘 .
日本专利 :CN118435320A ,2024-08-02
[4]
半导体基板以及半导体基板的制造方法 [P]. 
今冈功 ;
内田英次 ;
须田淳 .
中国专利 :CN105917443A ,2016-08-31
[5]
半导体基板、半导体基板的制造方法及半导体装置 [P]. 
杉山正和 ;
霜垣幸浩 ;
秦雅彦 ;
市川磨 .
中国专利 :CN101978503A ,2011-02-16
[6]
半导体装置,半导体装置的制造方法,半导体基板,和半导体基板的制造方法 [P]. 
秦雅彦 ;
福原升 ;
山田永 ;
高木信一 ;
杉山正和 ;
竹中充 ;
安田哲二 ;
宫田典幸 ;
板谷太郎 ;
石井裕之 ;
大竹晃浩 ;
奈良纯 .
中国专利 :CN102239549B ,2011-11-09
[7]
半导体装置、半导体装置的制造方法、半导体基板、和半导体基板的制造方法 [P]. 
秦雅彦 ;
福原升 ;
山田永 ;
高木信一 ;
杉山正和 ;
竹中充 ;
安田哲二 ;
宫田典幸 ;
板谷太郎 ;
石井裕之 ;
大竹晃浩 ;
奈良纯 .
中国专利 :CN103474354A ,2013-12-25
[8]
半导体基板的制造方法 [P]. 
今冈功 ;
小林元树 ;
内田英次 ;
八木邦明 ;
河原孝光 ;
八田直记 ;
南章行 ;
坂田丰和 ;
牧野友厚 ;
高木秀树 ;
仓岛优一 .
中国专利 :CN105474354A ,2016-04-06
[9]
半导体基板以及半导体基板的制造方法 [P]. 
高田朋幸 ;
山中贞则 ;
秦雅彦 ;
山本武继 ;
和田一实 .
中国专利 :CN101897004A ,2010-11-24
[10]
半导体基板及制造半导体基板的方法 [P]. 
顾春雷 ;
周素芬 .
中国专利 :CN104934399A ,2015-09-23