一种硅片抛光用暂存放置系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022883129.5

申请日：

2020-12-05

公开(公告)号：

CN213889549U

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

袁祥龙刘园武卫刘建伟由佰玲孙晨光王彦君常雪岩裴坤羽祝斌刘姣龙张宏杰谢艳杨春雪刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B08B1100 B08B302

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片抛光用暂存放置系统 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN112405339A ,2021-02-26

[2]

一种硅片抛光用暂存放置系统 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN112405339B ,2024-11-19

[3]

一种半导体硅片抛光用下载暂存机构 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213889515U ,2021-08-06

[4]

一种半导体硅片抛光用上载暂存机构 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213889548U ,2021-08-06

[5]

一种半导体硅片抛光用下载暂存机构 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN216731260U ,2022-06-14

[6]

一种硅片抛光用游轮片 [P].

库黎明 ;

闫志瑞 ;

索思卓 ;

葛钟 ;

鲁进军 ;

叶松芳 .

中国专利 :CN202428296U ,2012-09-12

[7]

一种硅片抛光用取片装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 ;

张国峰 .

中国专利 :CN218312847U ,2023-01-17

[8]

一种硅片抛光用洗边装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN217822673U ,2022-11-15

[9]

一种硅片抛光用废料回收装置 [P].

张俊杰 .

中国专利 :CN209598923U ,2019-11-08

[10]

一种硅片抛光装置 [P].

刘宜森 ;

张硕东 ;

张江涛 ;

许普增 ;

曹会倩 ;

王帅 ;

谭永麟 ;

孙晨光 ;

王彦君 .

中国专利 :CN218194447U ,2023-01-03

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