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一种硅片抛光用暂存放置系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011404818.1
申请日：
2020-12-05
公开(公告)号：
CN112405339B
公开(公告)日：
2024-11-19
发明(设计)人：
袁祥龙 刘园 武卫 刘建伟 由佰玲 孙晨光 王彦君 常雪岩 裴坤羽 祝斌 刘姣龙 张宏杰 谢艳 杨春雪 刘秒 吕莹 徐荣清
申请人：
天津中环领先材料技术有限公司 中环领先半导体材料有限公司
申请人地址：
300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号
IPC主分类号：
B24B37/34
IPC分类号：
B08B11/00 B08B3/02
代理机构：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人：
栾志超
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-11-19 授权 授权
2025-11-14 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):B24B 37/34变更事项:专利权人变更前:天津中环领先材料技术有限公司变更后:天津中环领先材料技术有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号变更后:300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号变更事项:专利权人变更前:中环领先半导体材料有限公司变更后:中环领先半导体科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国
共 50 条
[1]
一种硅片抛光用暂存放置系统 [P]. 
袁祥龙 ;
刘园 ;
武卫 ;
刘建伟 ;
由佰玲 ;
孙晨光 ;
王彦君 ;
常雪岩 ;
裴坤羽 ;
祝斌 ;
刘姣龙 ;
张宏杰 ;
谢艳 ;
杨春雪 ;
刘秒 ;
吕莹 ;
徐荣清 .
中国专利 :CN213889549U ,2021-08-06
[2]
一种硅片抛光用暂存放置系统 [P]. 
袁祥龙 ;
刘园 ;
武卫 ;
刘建伟 ;
由佰玲 ;
孙晨光 ;
王彦君 ;
常雪岩 ;
裴坤羽 ;
祝斌 ;
刘姣龙 ;
张宏杰 ;
谢艳 ;
杨春雪 ;
刘秒 ;
吕莹 ;
徐荣清 .
中国专利 :CN112405339A ,2021-02-26
[3]
一种半导体硅片抛光用下载暂存机构 [P]. 
袁祥龙 ;
刘园 ;
武卫 ;
刘建伟 ;
由佰玲 ;
孙晨光 ;
王彦君 ;
常雪岩 ;
裴坤羽 ;
祝斌 ;
刘姣龙 ;
张宏杰 ;
谢艳 ;
杨春雪 ;
刘秒 ;
吕莹 ;
徐荣清 .
中国专利 :CN213889515U ,2021-08-06
[4]
一种半导体硅片抛光用上载暂存机构 [P]. 
袁祥龙 ;
刘园 ;
武卫 ;
刘建伟 ;
由佰玲 ;
孙晨光 ;
王彦君 ;
常雪岩 ;
裴坤羽 ;
祝斌 ;
刘姣龙 ;
张宏杰 ;
谢艳 ;
杨春雪 ;
刘秒 ;
吕莹 ;
徐荣清 .
中国专利 :CN213889548U ,2021-08-06
[5]
一种半导体硅片抛光用下载暂存机构 [P]. 
李炜 ;
王看看 .
中国专利 :CN216731260U ,2022-06-14
[6]
一种硅片抛光用游轮片 [P]. 
库黎明 ;
闫志瑞 ;
索思卓 ;
葛钟 ;
鲁进军 ;
叶松芳 .
中国专利 :CN202428296U ,2012-09-12
[7]
一种硅片抛光用取片装置 [P]. 
吴泓明 ;
钟佑生 ;
陈志刚 ;
周军磊 ;
李常存 ;
张国峰 .
中国专利 :CN218312847U ,2023-01-17
[8]
一种硅片抛光用洗边装置 [P]. 
吴泓明 ;
钟佑生 ;
陈志刚 ;
周军磊 ;
李常存 .
中国专利 :CN217822673U ,2022-11-15
[9]
一种硅片抛光用废料回收装置 [P]. 
张俊杰 .
中国专利 :CN209598923U ,2019-11-08
[10]
一种硅片抛光装置 [P]. 
刘宜森 ;
张硕东 ;
张江涛 ;
许普增 ;
曹会倩 ;
王帅 ;
谭永麟 ;
孙晨光 ;
王彦君 .
中国专利 :CN218194447U ,2023-01-03
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