一种硅片抛光用取片装置

被引：0

申请号：

CN202222168108.4

申请日：

2022-08-17

公开(公告)号：

CN218312847U

公开(公告)日：

2023-01-17

发明(设计)人：

吴泓明钟佑生陈志刚周军磊李常存张国峰

申请人：

申请人地址：

451162 河南省郑州市郑州航空港经济综合实验区规划工业四路以南、华夏大道以西

IPC主分类号：

B24B4106

IPC分类号：

B24B4100

代理机构：

北京动力号知识产权代理有限公司 11775

代理人：

张盼

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片抛光用游轮片 [P].

库黎明 ;

闫志瑞 ;

索思卓 ;

葛钟 ;

鲁进军 ;

叶松芳 .

中国专利 :CN202428296U ,2012-09-12

[2]

一种硅片抛光用陶瓷盘清洁装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN220836787U ,2024-04-26

[3]

一种硅片抛光用洗边装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN217822673U ,2022-11-15

[4]

一种硅片抛光用废料回收装置 [P].

张俊杰 .

中国专利 :CN209598923U ,2019-11-08

[5]

一种硅片夹取装置及硅片抛光设备 [P].

杨崇秋 ;

周林 ;

吉成东 .

中国专利 :CN220710291U ,2024-04-02

[6]

一种硅片取片装置及硅片取片设备 [P].

徐飞 ;

李昶 ;

韩杰 ;

闫东 .

中国专利 :CN220299708U ,2024-01-05

[7]

一种硅片抛光装置 [P].

刘宜森 ;

张硕东 ;

张江涛 ;

许普增 ;

曹会倩 ;

王帅 ;

谭永麟 ;

孙晨光 ;

王彦君 .

中国专利 :CN218194447U ,2023-01-03

[8]

一种硅片抛光装置 [P].

库黎明 ;

闫志瑞 ;

索思卓 ;

鲁进军 ;

常青 .

中国专利 :CN201711851U ,2011-01-19

[9]

一种硅片横向取片装置 [P].

张淋 ;

程强强 ;

霍召军 .

中国专利 :CN205645777U ,2016-10-12

[10]

一种硅片抛光用暂存放置系统 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213889549U ,2021-08-06

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