一种硅片横向取片装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620327839.0

申请日：

2016-04-19

公开(公告)号：

CN205645777U

公开(公告)日：

2016-10-12

发明(设计)人：

张淋程强强霍召军

申请人：

申请人地址：

215151 江苏省苏州市高新区浒墅关经济开发区石阳路17号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	授权	授权
2021-09-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人变更前:苏州宝馨科技实业股份有限公司变更后:江苏宝馨科技股份有限公司变更事项:地址变更前:215151 江苏省苏州市高新区浒墅关经济开发区石阳路17号变更后:215300 江苏省泰州市靖江经济技术开发区公兴河北路35号

共 50 条

[1]

一种硅片取片装置及硅片取片设备 [P].

徐飞 ;

李昶 ;

韩杰 ;

闫东 .

中国专利 :CN220299708U ,2024-01-05

[2]

一种硅片取片装置 [P].

张淋 ;

程强强 ;

罗金秀 .

中国专利 :CN205645782U ,2016-10-12

[3]

一种硅片抛光用取片装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 ;

张国峰 .

中国专利 :CN218312847U ,2023-01-17

[4]

硅片取片装置 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

徐文州 ;

陈磊 ;

耿荣军 .

中国专利 :CN204167344U ,2015-02-18

[5]

一种硅片的取片装置 [P].

李德云 ;

童鹏飞 ;

徐新毅 .

中国专利 :CN202259389U ,2012-05-30

[6]

一种硅片取片机构 [P].

刘振辉 ;

胡耿涛 ;

林生财 ;

魏纯 .

中国专利 :CN212412027U ,2021-01-26

[7]

一种硅片取片系统 [P].

朱绍明 ;

戴军 .

中国专利 :CN202443958U ,2012-09-19

[8]

一种硅片分合片装置及硅片扩散插取片方法 [P].

梁齐辉 ;

陈庆敏 ;

李丙科 .

中国专利 :CN117672948A ,2024-03-08

[9]

一种硅片分合片装置及硅片扩散插取片方法 [P].

梁齐辉 ;

陈庆敏 ;

李丙科 .

中国专利 :CN117672948B ,2024-05-14

[10]

一种硅片取片装置和硅片上料设备 [P].

徐飞 ;

李昶 ;

刘世挺 .

中国专利 :CN216849845U ,2022-06-28

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