一种硅片的取片装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201120349124.2
申请日
2011-09-09
公开(公告)号
CN202259389U
公开(公告)日
2012-05-30
发明(设计)人
李德云 童鹏飞 徐新毅
申请人
申请人地址
324300 浙江省开化县工业园区茶场片区银川路1号(嘉毅能源)
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
代理机构
杭州天正专利事务所有限公司 33201
代理人
舒良
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片取片装置及硅片取片设备 [P]. 
徐飞 ;
李昶 ;
韩杰 ;
闫东 .
中国专利 :CN220299708U ,2024-01-05
[2]
一种硅片取片装置 [P]. 
张淋 ;
程强强 ;
罗金秀 .
中国专利 :CN205645782U ,2016-10-12
[3]
硅片取片装置 [P]. 
陈五奎 ;
李军 ;
徐文州 ;
陈磊 ;
耿荣军 .
中国专利 :CN204167344U ,2015-02-18
[4]
一种硅片的插片装置 [P]. 
李德云 ;
童鹏飞 ;
徐新毅 .
中国专利 :CN202259388U ,2012-05-30
[5]
一种硅片横向取片装置 [P]. 
张淋 ;
程强强 ;
霍召军 .
中国专利 :CN205645777U ,2016-10-12
[6]
一种便捷安全的硅片取片装置 [P]. 
刘飞 ;
陈实 ;
树式 ;
夏利鹏 ;
吴圣 ;
李干 ;
陈经纬 .
中国专利 :CN213519912U ,2021-06-22
[7]
一种硅片取片机构 [P]. 
刘振辉 ;
胡耿涛 ;
林生财 ;
魏纯 .
中国专利 :CN212412027U ,2021-01-26
[8]
一种硅片取片系统 [P]. 
朱绍明 ;
戴军 .
中国专利 :CN202443958U ,2012-09-19
[9]
一种硅片抛光用取片装置 [P]. 
吴泓明 ;
钟佑生 ;
陈志刚 ;
周军磊 ;
李常存 ;
张国峰 .
中国专利 :CN218312847U ,2023-01-17
[10]
一种硅片取片装置和硅片上料设备 [P]. 
徐飞 ;
李昶 ;
刘世挺 .
中国专利 :CN216849845U ,2022-06-28