一种便捷安全的硅片取片装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202022861839.8
申请日
2020-12-02
公开(公告)号
CN213519912U
公开(公告)日
2021-06-22
发明(设计)人
刘飞 陈实 树式 夏利鹏 吴圣 李干 陈经纬
申请人
申请人地址
210000 江苏省宿迁市经济技术开发区发展大道西侧(商务中心905室)
IPC主分类号
H01L21683
IPC分类号
H01L21677
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片取片装置及硅片取片设备 [P]. 
徐飞 ;
李昶 ;
韩杰 ;
闫东 .
中国专利 :CN220299708U ,2024-01-05
[2]
一种硅片的取片装置 [P]. 
李德云 ;
童鹏飞 ;
徐新毅 .
中国专利 :CN202259389U ,2012-05-30
[3]
一种硅片取片装置 [P]. 
张淋 ;
程强强 ;
罗金秀 .
中国专利 :CN205645782U ,2016-10-12
[4]
硅片取片装置 [P]. 
陈五奎 ;
李军 ;
徐文州 ;
陈磊 ;
耿荣军 .
中国专利 :CN204167344U ,2015-02-18
[5]
一种便捷安全胶片取片器 [P]. 
李志明 .
中国专利 :CN207352355U ,2018-05-11
[6]
一种硅片横向取片装置 [P]. 
张淋 ;
程强强 ;
霍召军 .
中国专利 :CN205645777U ,2016-10-12
[7]
一种取放安全便捷的杠铃片架 [P]. 
张江 ;
杨振书 ;
高爱东 .
中国专利 :CN209790719U ,2019-12-17
[8]
一种硅片取片机构 [P]. 
刘振辉 ;
胡耿涛 ;
林生财 ;
魏纯 .
中国专利 :CN212412027U ,2021-01-26
[9]
一种硅片取片系统 [P]. 
朱绍明 ;
戴军 .
中国专利 :CN202443958U ,2012-09-19
[10]
一种硅片抛光用取片装置 [P]. 
吴泓明 ;
钟佑生 ;
陈志刚 ;
周军磊 ;
李常存 ;
张国峰 .
中国专利 :CN218312847U ,2023-01-17