一种硅片取片系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220042709.4

申请日：

2012-02-10

公开(公告)号：

CN202443958U

公开(公告)日：

2012-09-19

发明(设计)人：

朱绍明戴军

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭镇春辉路5号跨春工业坊6号厂房

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

张坚

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-15	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更变更后:215122 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭镇葑亭大道598号号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101748177133 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2012200427094 变更事项:专利权人变更前:苏州罗博特科自动化设备有限公司变更后:罗博特科智能科技股份有限公司变更事项:地址变更前:215000 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭镇春辉路5号跨春工业坊6号厂房
2022-03-01	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20120210 授权公告日:20120919
2012-09-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片取片装置 [P].

张淋 ;

程强强 ;

罗金秀 .

中国专利 :CN205645782U ,2016-10-12

[2]

一种硅片取片装置及硅片取片设备 [P].

徐飞 ;

李昶 ;

韩杰 ;

闫东 .

中国专利 :CN220299708U ,2024-01-05

[3]

一种硅片取片装置和硅片上料设备 [P].

徐飞 ;

李昶 ;

刘世挺 .

中国专利 :CN216849845U ,2022-06-28

[4]

一种硅片取片机构 [P].

刘振辉 ;

胡耿涛 ;

林生财 ;

魏纯 .

中国专利 :CN212412027U ,2021-01-26

[5]

硅片取片装置 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

徐文州 ;

陈磊 ;

耿荣军 .

中国专利 :CN204167344U ,2015-02-18

[6]

一种硅片传送机的取片和定位装置 [P].

沈彪 ;

李向清 ;

胡德良 .

中国专利 :CN202189770U ,2012-04-11

[7]

一种硅片横向取片装置 [P].

张淋 ;

程强强 ;

霍召军 .

中国专利 :CN205645777U ,2016-10-12

[8]

一种硅片的取片装置 [P].

李德云 ;

童鹏飞 ;

徐新毅 .

中国专利 :CN202259389U ,2012-05-30

[9]

一种硅片抛光用取片装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 ;

张国峰 .

中国专利 :CN218312847U ,2023-01-17

[10]

一种直插型硅片插片取片装置 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

罗银兵 .

中国专利 :CN209071294U ,2019-07-05

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