硅片取片装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420711378.8

申请日：

2014-11-24

公开(公告)号：

CN204167344U

公开(公告)日：

2015-02-18

发明(设计)人：

陈五奎李军徐文州陈磊耿荣军

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市高新区建业大道9号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227

代理人：

李玉兴

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20141124 授权公告日:20150218 终止日期:20201124
2015-02-18	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片取放装置 [P].

侯玉 ;

张春华 ;

衡阳 ;

陈佳男 ;

李琰琪 ;

郑旭然 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206742265U ,2017-12-12

[2]

一种硅片取片装置及硅片取片设备 [P].

徐飞 ;

李昶 ;

韩杰 ;

闫东 .

中国专利 :CN220299708U ,2024-01-05

[3]

一种硅片取片装置 [P].

张淋 ;

程强强 ;

罗金秀 .

中国专利 :CN205645782U ,2016-10-12

[4]

硅片载片篮 [P].

何旭梅 ;

向小龙 ;

周善培 ;

何旭芳 ;

郦晓苗 .

中国专利 :CN201402816Y ,2010-02-10

[5]

适用于硅片的取片装置 [P].

张建伟 ;

戴军 ;

罗银兵 ;

张学强 .

中国专利 :CN222775297U ,2025-04-18

[6]

一种硅片横向取片装置 [P].

张淋 ;

程强强 ;

霍召军 .

中国专利 :CN205645777U ,2016-10-12

[7]

一种硅片的取片装置 [P].

李德云 ;

童鹏飞 ;

徐新毅 .

中国专利 :CN202259389U ,2012-05-30

[8]

一种硅片分合片装置及硅片扩散插取片方法 [P].

梁齐辉 ;

陈庆敏 ;

李丙科 .

中国专利 :CN117672948A ,2024-03-08

[9]

一种硅片分合片装置及硅片扩散插取片方法 [P].

梁齐辉 ;

陈庆敏 ;

李丙科 .

中国专利 :CN117672948B ,2024-05-14

[10]

硅片清洗装置 [P].

曹士妥 ;

霍志强 .

中国专利 :CN204107915U ,2015-01-21

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