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静电吸盘及静电吸盘的温控系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120564558.8
申请日：
2021-03-19
公开(公告)号：
CN215299214U
公开(公告)日：
2021-12-24
发明(设计)人：
陈恋
申请人：
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京恒博知识产权代理有限公司 11528
代理人：
范胜祥
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-24 | 授权 | 授权 |