一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110920408.0

申请日：

2021-08-11

公开(公告)号：

CN113777049A

公开(公告)日：

2021-12-10

发明(设计)人：

王健翟福琪陈蓉卢文龙周莉萍

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G01N2101 G01B1106

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

尚威;孔娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20210811
2021-12-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种成像椭偏仪测量系统成像校准方法及系统 [P].

陈修国 ;

钟海硕 ;

张传维 ;

刘世元 .

中国专利 :CN117451632A ,2024-01-26

[2]

一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法 [P].

王健 ;

翟福琪 ;

彭立华 ;

卢文龙 ;

徐龙 ;

周莉萍 .

中国专利 :CN113777048A ,2021-12-10

[3]

一种双补偿器后焦面快照椭偏测量系统及方法 [P].

王健 ;

杨俊 ;

郑春平 ;

李闰峰 ;

彭立华 ;

贾天棋 .

中国专利 :CN118533764A ,2024-08-23

[4]

一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法 [P].

胡浩丰 ;

刘铁根 ;

李校博 .

中国专利 :CN107490547B ,2017-12-19

[5]

一种光谱椭偏装置和光谱椭偏测量系统 [P].

王瑜 ;

请求不公布姓名 ;

杨峰 ;

吕彤欣 .

中国专利 :CN220649786U ,2024-03-22

[6]

一种快照式椭偏测量方法及设备 [P].

陈修国 ;

陈文龙 ;

胡静 ;

杨世龙 ;

王逸夫 ;

刘世元 .

中国专利 :CN117368114A ,2024-01-09

[7]

一种可变方位角的波片椭偏仪及其测量方法 [P].

孟永宏 ;

高海川 .

中国专利 :CN120992510A ,2025-11-21

[8]

一种椭偏仪测量装置 [P].

黄爽 ;

黎浩 ;

王汉华 ;

许海明 .

中国专利 :CN216117305U ,2022-03-22

[9]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[10]

一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法 [P].

陈修国 ;

杨世龙 ;

胡静 ;

陈文龙 ;

王逸夫 ;

刘世元 .

中国专利 :CN119827427A ,2025-04-15

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