二自由度柔性微定位工作台

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910245040.1
申请日
2009-12-23
公开(公告)号
CN101738855B
公开(公告)日
2010-06-16
发明(设计)人
田延岭 贾晓辉 张大卫
申请人
申请人地址
300072 天津市南开区卫津路92号
IPC主分类号
G03F700
IPC分类号
代理机构
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人
王丽英
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
二自由度精密定位工作台 [P]. 
田延岭 ;
贾晓辉 ;
张大卫 .
中国专利 :CN101750885A ,2010-06-23
[2]
三自由度柔性精密定位工作台 [P]. 
田延岭 ;
贾晓辉 ;
张大卫 .
中国专利 :CN101770182B ,2010-07-07
[3]
用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台 [P]. 
田延岭 ;
贾晓辉 ;
张大卫 .
中国专利 :CN101776851B ,2010-07-14
[4]
用于纳米压印光刻系统的六自由度精密定位工作台 [P]. 
田延岭 ;
贾晓辉 ;
张大卫 .
中国专利 :CN101726997B ,2010-06-09
[5]
一种三自由度微定位工作台 [P]. 
杨晓京 ;
李尧 .
中国专利 :CN105006255A ,2015-10-28
[6]
一种三自由度微定位工作台 [P]. 
杨晓京 ;
李尧 .
中国专利 :CN204966059U ,2016-01-13
[7]
三自由度精密定位工作台 [P]. 
张建瓴 ;
陈万银 ;
可欣荣 ;
洪添胜 ;
张铁民 .
中国专利 :CN201168876Y ,2008-12-24
[8]
三自由度纳米级微定位工作台 [P]. 
张大卫 ;
田延岭 ;
阎兵 ;
董科 .
中国专利 :CN1597249A ,2005-03-23
[9]
三自由度纳米级微定位工作台 [P]. 
张大卫 ;
田延岭 ;
闫兵 ;
董科 .
中国专利 :CN2707426Y ,2005-07-06
[10]
平面并联式三自由度精密定位工作台 [P]. 
田延岭 ;
秦岩丁 ;
张大卫 ;
田佳 .
中国专利 :CN103021472B ,2013-04-03